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高真空排气台系统(无烘箱)
设备用途及特点

工位数:可多工位定制

极限真空:5×10-8Pa(空载)

工作真空度:5×10-5Pa

加热方式:工件定制加热套

升温时间:<30分钟

控温精度:±1

加热温度可调节,闭环控制

设备规格参数