主要用于对玻璃容器的真空制备和气体充装 极限真空度≤5×10-8Pa
无油真空系统
多路充气,流量和压力精确可控
带四极质谱仪
多点测温,多段多程序控温
多项联锁保护功能
型式:多工位,单/双真空系统
烘箱最高温度:600℃
极限真空度:≤5×10-8Pa
充气压力范围:10Pa~1000Pa
0.1MPa~0.2MPa