主要用于对玻璃容器的真空制备和气体充装 极限真空度≤5×10-8Pa
无油真空系统
多路充气，流量和压力精确可控
带四极质谱仪
多点测温，多段多程序控温
多项联锁保护功能
型式：多工位，单/双真空系统
烘箱最高温度：600℃
极限真空度：≤5×10-8Pa
充气压力范围：10Pa～1000Pa
0.1MPa～0.2MPa
