用于多型号电真空器件在超高真空、高温条件下的烘烤排气及激活处理
独立六工位，六套烘箱，双真空系统
内真空系统极限真空度≤5×10-7Pa，外真空≤5×10-1Pa
独立烘箱升降系统，行程1000mm
工控机显示工作状态、记录运行参数并储存
带整体铅防护系统，铅推拉门
大流量风机管道装置，用于轰击除气时冷却工件
