用于微波电真空器件排气及后续工艺处理
很高的真空系统性能，显著提升电真空器件排气质量
系统设计紧密结合工艺，操作方便，工艺一致性好
自主研发的控制系统，排气与后处理工艺程控执行
完备的数据记录和分析功能，为工艺改进和质量追溯提供依据
