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吸放气性能测试仪
设备用途及特点

可用于不同种类材料真空下放气率参数测试

可用于吸气剂、钛泵抽速等真空性能参数测试

测试腔室经过严格脱气处理,腔室本底放气率低

设备规格参数

分析室本底真空:<2×10-7 Pa

样品室本底真空:<1×10-6 Pa

吸气剂加热温度:室温~900℃

测试室真空度控制范围:10-7 Pa~10-4 Pa