欢迎访问北京真空电子科技有限公司官网!
客户热线:010-64362811
超高真空充排气台
设备用途及特点

主要用于对玻璃容器的真空制备和气体充装
极限真空度≤5×10-8Pa

无油真空系统

多路充气,流量和压力精确可控

带四极质谱仪

多点测温,多段多程序控温

多项联锁保护功能

设备规格参数

型式:多工位,单/双真空系统

烘箱最高温度:600℃

极限真空度:≤5×10-8Pa

充气压力范围:10Pa~1000Pa

                        0.1MPa~0.2MPa